প্লাজমা এচিং মেশিন

প্লাজমা এচিং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে অবাঞ্ছিত অমেধ্য বা অর্ধপরিবাহী পদার্থ অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়, যা নির্দিষ্ট নিদর্শন বা কাঠামো গঠনের অনুমতি দেয়। সৌর কোষের জন্য ইলেক্ট্রোড এবং অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ আবরণ তৈরি করার সময় এই প্রক্রিয়াটি বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ। ফটোইলেকট্রিক রূপান্তর দক্ষতা এবং কোষের বর্তমান সংগ্রহের দক্ষতা উন্নত করতে এচিং প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়। প্লাজমা এচিং প্লাজমাতে সক্রিয় আয়ন ব্যবহার করে কাঙ্খিত এচ অর্জন করতে পৃষ্ঠের উপাদানের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করে।